ООО "Лаб-3"
Мишени для магнетронного распыления
Изделия для микроэлектронной промышленности

124460, Москва, Зеленоград,
1-й Западный проезд, д.12, стр.1
E-mail: ktekrus@dol.ru


Мишени и катоды из соединений

Совместно с белорусским институтом ГНУ ИПМ ОХП "НИИИП с ОП" разработана и успешно введена в производство технология изготовления мишеней из различных соединений методом импульсного прессования. Максимальные размеры целых мишеней: пластины - до 200 мм; диска - до 160 мм.

Номенклатура.

Мишени из оксидов:

Al2O3, CeO2, CoO, Cr2O3, CuO, Dy2O3, Fe2O3, Fe3O4, Ga2O3, Gd2O3, GeO2, HfO2, In2O3, La2O3, MgO, Nb2O5, NiO, SiO2, Ta2O5, TiO2, WO3, Y2O3, ZnO, ZrO2.

Мишени из силицидов:

CoSi2, CrSi2, MnSi2, MoSi2, NbSi2, TaSi2, TiSi2, WSi2, ZrSi2.

Мишени из сульфидов:

MoS2

Мишени из нитридов:

TiN, BN.

Помимо представленных выше соединений возможна разработка технологии и изготовление мишеней иных составов.