ООО "Лаб-3"
Мишени для магнетронного распыления
Изделия для микроэлектронной промышленности

124460, Москва, Зеленоград,
1-й Западный проезд, д.12, стр.1
E-mail: ktekrus@dol.ru


Мишени и катоды из резистивных сплавов

Совместно с белорусским институтом ГНУ ИПМ ОХП "НИИИП с ОП" разработана и успешно введена в производство технология изготовления резистивных мишеней методом импульсного прессования на базе силицидов. Особенностью данной технологии является совмещение технологии плавленных изделий и технологии импульсного прессования. Макроструктура мишеней представляет собой компактированные гранулы плавленного материала с низкой удельной поверхностью, при этом сами гранулы состоят из мелких зерен, образующихся в процессе импульсного прессования. Максимальные размеры целых мишеней: пластины - до 450 мм; диска - до 180 мм. Мишени успешно прошли испытания на предприятиях электронной промышленности.

Номенклатура резистивных мишеней.

Наименование состава
Состав, % вес
Cr Si Ni Co Fe Ti Nb W
РС-5406Н 54 40 6 - - - - -
РС-5406К 54 40 - 6 - - - -
РС-5402 54 44 - - 2 - - -
РС-4800 48 52 - - - - - -
РС-4400 44 56 - - - - - -
РС-4206 42 52 6 - - - - -
РС-3710 37 53 10 - - - - -
РС-1714 44 17 - - 14 - - 25
РС-1004 - 86 10 - 4 - - -

Помимо мишеней на базе стандартных резистивных сплавов ООО "Лаб-3" предлагает широкий спектр изделий на основе чистых силицидов вольфрама, молибдена, титана, никеля, кобальта, ниобия, танала и др.


Резистивная мишень РС3710

Резистивная мишень на медном основании

Требования к качеству материала, составу и другим характеристикам изделия - по спецификации рс "Лаб-3".

Что бы получить спецификацию заполните форму.

* Поля, обязательные для заполнения.

 
* N спецификации
* Кому (ФИО)
* Название организации
* Профиль деятельности
* E-mail
   
 

1. Спецификация №СП10018 PC 3710
2. Спецификация №СП10019 PC 5402
3. Спецификация №СП10020 PC 5406 K
4. Спецификация №СП10021 PC 5406 H
5. Спецификация №СП10022 PC4800