ООО "Лаб-3"
Мишени для магнетронного распыления
Изделия для микроэлектронной промышленности

124460, Москва, Зеленоград,
1-й Западный проезд, д.12, стр.1
E-mail: ktekrus@dol.ru


Металлические мишени и катоды

В качестве источников распыления используется катод из того или иного материала, который называется мишенью для распыления.
"Лаб-3" производит мишени для напыления тонких металлических пленок из тугоплавких металлов.

Исходные металлы перед механической обработкой проходят электронно-лучевую, дуговую плавку, электролитическое рафинирование, что позволяет получать металлы высокой чистоты. А следовательно, получаемые мишени использовать для напыления ответственных слоев для изделий микроэлектроники.

Используемые материалы

13         Al
Алюминий
22        Ti
Титан
23        V
Ванадий
26      Fe
Железо
27     Co
Кобальт
28       Ni
Никель
41      Nb
Ниобий
49      In
Индий
73      Ta
Тантал
А5N
99,999
2N8
99,8
2N2
99,2
3N5
99,95
4N
99,99
3N5
99,95
2N8
99,8
4N
99,99
3N5
99,95
A6N
99,9999
4N+
99,991
4N
99,99
4N
99,99
 
4N
99,99
4N
99,99
5N
99,999
4N
99,99

Наши технологии обеспечивают:

  • физико-химические свойства мишеней: чистоту металла, примесный состав мишени, однородность, плотность, мелкозернистую структуру, что подтвержтается сертификатом качества на изделие и на металл
  • стабильные показатели от партии к партии

Геометрия: стандартные изделия поставляются овальной, круглой, прямоугольной формы для установок "Оратория-29", "Оратория-36", "Оратория-5", др.
Диск: максимальный диаметр 300 мм
Пластина: максимальная длина 890 мм
Рамка: Мю-форма
Навеска: 10х10х1 мм, диаметр 6х6 мм, диаметр 6х10 мм
Не стандартные изделия изготавливаются по чертежам и размерам заказчика.
Требования к поверхности (шероховатость), размер зерна, примесный состав и другие характеристики изделия - по спецификации "Лаб-3".

Производится напайка мишени на медное основание (Cu марки М1, МОб). Крепления (винты, шайбы, гайки) изготавливаюся из материала мишени.

Полученный при напылении слой должен обладать набором определенных характеристик, что во многом зависит от технологии напыления. Наши специалисты помогут отработать оптимальные режимы напыления для вашей задачи.

Утилизация отходов: по ряду металлов "Лаб-3" предлагает своим потребителям программу утилизации отработанных мишеней, что позволяет при налаженном цикле поставок и возврата мишеней снизить стоимость изделия.

Мишени из алюминия Мишени из железа
Мишени из титана Мишени из кобальта
Мишени из ванадия Мишени из никеля
Мишени из ниобия Мишени из тантала

Каталог " Мишени и материалы для нанесения пленок напылением и испарением".