ООО "Лаб-3"
Мишени для магнетронного распыления
Изделия для микроэлектронной промышленности

124460, Москва, Зеленоград,
1-й Западный проезд, д.12, стр.1
E-mail: ktekrus@dol.ru


Мишени и катоды из сплавов

Лаб-3 предлагает мишени из сплавов на базе никеля, алюминия. Мишени из этих сплавов прошли успешные испытания на предприятиях электронной промышленности и поступили в серийное производство.

Символ
Сплав
ТУ на сплав
Легирующий металл
ГОСТ на легирующий металл
Сплавы на базе никеля Н0, Н1у ГОСТ 849-97
NiV7 Никель-ванадий 7% ТУ 85-173271-52781461-01-03 ВнМ1 ТУ 48-4-272-73
NiCr20 Никель-хром 20% --- ЭРХ 99,95%  
NiCr50 Никель-хром 50% --- ЭРХ 99,95%  
NiFe20 Никель-железо 20% --- 005ЖР ТУ 14-1-2033-77
NiFe64 Никель-железо 64% --- 005ЖР ТУ 14-1-2033-77
NiFe12Co6 Никель-железо 21% кобальт 6%
---
005ЖР ТУ 14-1-2033-77
Кобальт К0 ГОСТ 123-78
NiCu20 Никель-медь 20% --- Медь Моб ГОСТ 859-2001
Сплавы на базе алюминия 99,999%
5AK1 Алюминий-кремний 1% ТУ 6-00-00205133-64-97 Кремний ТУ ЕТО 035206
5AK1M0,5 Алюминий-кремний 1% медь 0,5% Кремний ТУ ЕТО 035206
Медь Моб
5AM4 Алюминий-медь 4% Медь Моб
5AT0,5 Алюминий-титан 0,5% Титан ТПЧ
5AK1T0,5 Алюминий-кремний 1% титан 0,5% Кремний ТУ ЕТО 035206
Титан ТПЧ